LG-600V 的本質是把 SLG-150V 的 LED 通道換成 7 倍芯片面積,并用「連續/脈沖雙模恒流源」供電:連續模式 410VA 滿流;脈沖模式電容緩沖+MOS 斬波,實現 <1μs 上升、最小脈寬 1μs,峰值電流為連續的 3–5 倍但占空比受限(典型 <10% 防過熱)。外部 TRIG 經光耦進 FPGA,延時抖動 <200ns,滿足線陣相機行同步。
PD 光反饋路徑:在勻光棒側壁開采樣窗,分光 1% 給積分球 PD,ADC 每 10μs 采一次,與設定照度做 PI 運算修正恒流設定值。連續模式下補償 LED 老化(30,000h→70% 時自動提流),脈沖模式下則做「脈寬-幅度交叉補償」,保證不同重復頻率下單脈沖能量一致——這是氙燈閃光做不到的(氙燈衰減非線性且受氣壓影響)。
光機結構:6.6kg 鋁合金腔體分三層——LED 銅基板(底層水冷預留)、勻光棒中層、濾片/光纖耦合前腔。強迫風冷風道獨立隔離電子板,避免光纖端熱回流。φ8–14mm 光纖座帶陶瓷套筒,耐受 7× 常規功率密度不碳化。
應用上,SiC 晶圓 4 英寸全幅透射需 >200 萬 lux,連續鹵素會烤彎薄片,SLG-600V 用 5μs 脈沖凍結熱擴散,單幀曝光均勻性 >95%。這是它進半導體前段的核心理由。